真空微波器件用无氧铜零件的真空存贮

• 作者: 刘燕文 赵丽 陆玉新 田宏 石文奇 赵恒邦
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 真空微波器件 螺旋线 无氧铜 真空存储
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 真空应用|Vacuum Technology Application
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN107|TB751
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.02.12

摘要

零件存储是真空微波器件制造的基础条件,慢波组件一般存放于真空柜中,存放一段时间后,慢波组件中的螺旋线镀铜表面出现了发黑现象,分析表明螺旋线表面镀铜部位发生了硫化.结合进一步的实验研究和理论分析,真空柜中放置的橡胶制品导致了无氧铜材料表面发黑.在真空状态下,硫是比较容易从橡胶套中升华进入真空柜中的,从而会在真空柜中弥漫大量硫蒸气,这些硫蒸气极易与铜发生化学反应形成Cu2S,因此含硫的橡胶套不宜放入真空柜,并且在真空电子器件中也要防止使用含硫的橡胶制品接触无氧铜零件.