基于环氧复制法的光学反射镜制备技术研究

• 作者: 张颖 刘红 陈小安 闵攀 罗瑞
• 来源期刊: 光电工程
• 关键词: 环氧复制 反射镜 面形 光学加工
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 科研论文|Article
• 页码范围: 19-30
• 页数: 12页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2021.210069

摘要

环氧复制法利用环氧树脂将抛光母模的高精度表面复制至镜坯,这是一种高效率低成本制备光学反射镜的方法.由于树脂的材料特性,复制面形精度随着反射镜口径的增大而迅速降低,并且在脱模后没有有效的面形精修方法.本文首先利用有限元分析方法仿真了环氧复制过程,提出了一种针对母模的优化设计方法,提高了环氧复制法的精度.然后研制了一种具有多层结构的金属薄膜,利用磁流变修形技术将复制后的薄膜表面加工至更高的面形精度.最后利用环氧复制法分别在5天和10天内制备了Φ180 mm抛物面反射镜和Φ500 mm平面反射镜,面形RMS均小于20 nm,表面粗糙度Rq均为0.6 nm.