Cd饱和气氛退火对碲锌镉晶体导电类型转变界面的影响

• 作者: 袁绶章 赵文 孔金丞 姜军 赵增林 姬荣斌
• 来源期刊: 红外技术
• 关键词: 碲锌镉 导电类型转变界面 退火 Cd源
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件|MATERIALS & DEVICES
• 页码范围: 517-522
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 语种: 中文

摘要

在富Te生长条件下,通过垂直布里奇曼法制备的部分碲锌镉晶体内存在导电类型转变界面.采用富Te液相外延技术在含有导电类型转变界面的碲锌镉衬底上生长碲镉汞薄膜,制成的红外焦平面探测器响应图上存在明显的响应不均匀分界面.碲锌镉晶体的导电类型转变由缺陷类型的不同引起,为消除碲锌镉衬底的导电类型转变界面,提升碲镉汞红外焦平面的成像质量,对含有导电类型转变界面的碲锌镉晶体进行了Cd饱和气氛退火实验,研究了时间和温度等退火条件对晶体导电类型转变界面的影响,探讨了Cd间隙和Cd空位缺陷的形成机制,为晶体生长过程中的Cd空位缺陷抑制提出了解决思路.