贵金属超细丝材截面的EBSD与三维重构表征

• 作者: 袁晓虹 王一晴 周文艳 甘建壮 陈国华 康菲菲 毛端 毕勤嵩
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 金属材料 超细丝材 扫描电子显微镜 聚焦离子束 电子背散射衍射 三维重构
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用|Research & Application
• 页码范围: 64-70
• 页数: 7页
• 分类号: TG115.21|TG146.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0676.2021.03.012

摘要

贵金属超细丝材常用于精密电子功能器件的关键位置,但由于其加工成品尺寸微细传统技术无法准确表征超细丝材的微观精细结构.采用聚焦离子束-电子背散射衍射(FIB-EBSD)联用的超细丝材截面制样与表征方法,精确表征出了4种不同材质贵金属超细丝材的晶粒、取向、织构以及晶界等微观结构信息;而3D EBSD三维重构技术将微观结构分析实现为3D动态过程,更加直观地反应出超细丝材的真实微观结构信息.