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摘要:
阐述国产半导体装备产业发展现状,北京市半导体装备产业发展现状,包括产业基础和布局、政策环境,半导体装备产业发展困局与对策分析.
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文献信息
篇名 北京市半导体装备产业发展现状与对策分析
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词 集成电路 半导体 装备产业
年,卷(期) 2021,(1) 所属期刊栏目 工艺与制造|Process and Fabrication
研究方向 页码范围 6-7
页数 2页 分类号 TN405
字数 语种 中文
DOI 10.19339/j.issn.1674-2583.2021.01.003
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
半导体
装备产业
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
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