专用电子束熔炼炉真空抽气系统设计

• 作者: 张志平 许忠政 张黎源 姜正鹤
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 电子束熔炼 真空系统 放气量 有效抽速 抽气时间
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备|Vacuum Acquisition System
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TF134|TB751
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.06

摘要

专用电子束熔炼炉需要大抽速、可靠性较高的真空系统,本文简要介绍了专用电子束熔炼炉真空抽气系统的主要性能指标、设计思路和方法、系统组成,对此真空抽气系统进行了详细的计算,并为类似真空设备的研制提供有益参考.