干涉效应对ITO薄膜光学性能的影响

• 作者: 刘子健 赵亚丽 李晓云 罗湘玉
• 来源期刊: 大学物理
• 关键词: ITO 可见光透光率 色泽感 膜厚 入射角度
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 大学生园地|The Scope of Students
• 页码范围: 72-78
• 页数: 7页
• 分类号: O4-3
• 语种: 中文
• DOI: 10.16854/j.cnki.1000-0712.200222

摘要

为揭示ITO薄膜膜厚对透光率及色泽感影响规律,本文采用TFCalc光学薄膜设计软件计算了 50～700 nm膜厚的ITO薄膜可见光透光率,平均透光率和人眼最为敏感波长550 nm的透光率与膜厚的关系.采用膜层干涉理论研究了 ITO膜厚和入射角对其透光率和色泽感影响规律和物理机制.研究结果表明:对特定膜厚的ITO薄膜,其可见光随膜厚增加会出现系列透射峰,膜厚越大,对应透射峰也相应增加.ITO薄膜可见光透光率,平均透光率和特定波长550 nm的可见光透光率随膜厚的增加呈锯齿状;随膜厚增加,ITO薄膜的颜色呈现黄绿色、橙色、紫红色、青色、黄绿色周期性的变化.当ITO膜厚为300 nm,入射角从30.增加到60.时,薄膜色泽从暗紫色变为亮紫色.通过本论文的研究,建立了 ITO薄膜和膜厚关系的色卡,这对工业控制及改善ITO薄膜的色泽提供技术支撑.