基于SPM与DIC技术的应变场测量改进方法

• 作者: 柏文琦 向德 王柠莎
• 来源期刊: 计量科学与技术
• 关键词: 计量学 应变场测量 扫描探针显微镜 数字图像相关法 平均灰度梯度 微纳米计量
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 优化设计与改进升级
• 页码范围: 75-79,8
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-9015.2021.03.16

摘要

微纳米尺度下的应力/应变测量方法是实验力学研究的重要方向之一.现有的许多研究忽略了待测试件表面的散斑图质量、系统随机误差、计算流程等因素对最终的应变场测量精度的影响.围绕基于扫描探针显微镜的数据图像相关技术实现过程,提出科学的评估准则、优化位移场计算方法.实验结果表明,所提出的应变场计算方法在精度控制方面的性能得到显著提升.