高性能电阻型柔性压力传感器研究进展

• 作者: 白成 耿达 周伟 陈松月
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 柔性压力传感器 微结构设计 仿生结构 多级结构 人机交互 3D打印 激光直写
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 技术论坛|Technology Forum
• 页码范围: 559-570
• 页数: 12页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.07.001

摘要

对电阻型柔性压力传感器的材料、制备和应用场景进行了简单阐述,重点介绍了通过引入微结构提升电阻型压力传感器性能的设计理念,分别评述了国内外研究中,天然表面微结构、仿生微结构和多孔结构对器件压阻灵敏度的提升,以及跨尺度结构、多级结构和多层结构对测量范围的进一步拓展.简单介绍了本征导电和填充型导电两种材料类型,进一步针对表面微结构和多孔结构的制造原理和工艺方法,重点阐述了倒模成形、3D打印、激光直写、气溶胶喷印等工艺.总结了近年来电阻型柔性压力传感器在人机交互、医疗健康监测及电子皮肤等场景的应用进展,最后结合应用需求对该领域未来研究方向进行了展望.