溶液法制备氧化物薄膜晶体管的研究

• 作者: 王成群
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 薄膜晶体管 氧化物 溶液加工法 迁移率 IGZO
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计|Research and Design
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN321
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2021.02.002

摘要

随着高分辨率平板显示、大尺寸柔性电子器件以及传感器的快速发展,氧化物薄膜晶体管成为研究热点.总结和分析了溶液加工法制备的不同种类活性层材料金属氧化物薄膜晶体管的性能.