沉积气压对氮化钒(VN)涂层微结构及其性能的影响

• 作者: 刘怡飞 包改磊 李助军 李磊 罗锡才 田灿鑫
• 来源期刊: 润滑与密封
• 关键词: 多弧离子镀 VN涂层 沉积气压 结合强度 摩擦因数
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究|Research and Test
• 页码范围: 68-74
• 页数: 7页
• 分类号: TH117.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2021.05.011

摘要

为研究沉积气压对VN涂层力学性能和摩擦性能的影响,采用离子镀制备VN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等设备检测VN涂层的物相结构、表面形貌,采用划痕仪测试基体与涂层的膜基结合力,采用摩擦磨损试验机测试涂层的摩擦因数.结果 表明:随着沉积氮气气压的升高,VN衍射峰强度逐渐增强,具有(200)晶面择优取向,表面平整度高;随着沉积氮气气压变化,涂层显微硬度和膜基结合力呈抛物线变化趋势,在氮气气压为1.0 Pa时,涂层硬度最高为HV2284,结合力最大为45 N,并具有稳定的摩擦因数,平均摩擦因数为0.85.通过调控沉积气压,多弧离子镀技术可以制备出性能更优越的VN涂层.