飞秒激光制备耐高温蓝宝石内部几何相位波带片(特邀)

• 作者: 卢轶明 高炳荣 刘学青 陈岐岱
• 来源期刊: 光子学报
• 关键词: 飞秒激光 微光学元件 几何相位 蓝宝石 高温成像 内部加工
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: “硬脆材料超快激光精密加工”专题|Special Issue for Ultrafast Laser Precision Machining of Hard and Brittle Materials
• 页码范围: 71-77
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20215006.0650107

摘要

针对晶体材料几何相位元件加工难、精度低、效果差等问题,提出了利用飞秒激光诱导纳米条纹技术来实现材料内部几何相位衍射元件的制备.飞秒激光近阈值加工方式有效的提升了加工精度,其精度为340 nm.通过实时调控扫描激光的偏振可以精准控制诱导纳米条纹的方向,进而改变晶体双折射效应的慢轴方向.基于该方法实现了蓝宝石内部几何相位波带片的有效制备,器件形貌良好、无裂纹,可用于高温环境下聚焦.