添加抑制剂对Al2O3复合涂层性能的影响

• 作者: 袁晓光 薛峰 余航 吴春涛
• 来源期刊: 工具技术
• 关键词: 抑制剂 晶粒度 使用性能
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TG335.86|TH162.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2021.03.008

摘要

从添加反应抑制剂入手,借助划痕仪、压痕仪、扫描电子显微镜和X射线衍射仪等先进检测设备,探讨研究抑制剂与CO2比例对Al2 O3多层复合涂层性能的影响.结果表明,当抑制剂与CO2的比例20％～40％时,经5 h沉积后,对Al2 O3颗粒的晶粒度影响不明显,择优取向未能做出判断,但膜基结合力有提高,表面色泽更明亮,使用性能亦有较大幅度提升;当提升比例大于30％时,更高比例的抑制剂添加情况还有待进一步验证.