跨尺度精密运动压电平台和快速驱动方法研究

• 作者: 黄开明 孙承峰 衡扬 孙立宁 钟博文
• 来源期刊: 压电与声光
• 关键词: 跨尺度 压电平台 结构设计 粘滑驱动 快速
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 页码范围: 187-191
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TM22|TH13
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2021.02.008

摘要

该文提出了一种基于惯性粘滑驱动原理、可快速运动的跨尺度精密运动压电平台.该平台由滑动部分、摩擦调整部分、堆叠压电陶瓷、惯性部分和底座组成,总尺寸为60 mm×60 mm×58 mm.该文详细介绍了基于此结构的新型惯性粘滑驱动原理.为了研究所设计压电平台的驱动性能,制作了样机并建立了实验系统.实验中,驱动频率7 kHz时最大的单步步距为2.67μm,最大速度为22.7 mm/s,最大静态保持力为36 N.实验结果表明,该文设计的平台可快速运动,具有良好的运动性能.