基于自组装金纳米颗粒的化学电阻传感器

• 作者: 唐嫒尧 李明虓 程洁 黄成军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 气体传感器 纳米颗粒 自组装 滴铸法 气敏性能
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器|MEMS and Sensors
• 页码范围: 604-611,626
• 页数: 9页
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.07.007

摘要

通过Au—S键的自组装作用,制备了不同功能单体修饰的金纳米颗粒(AuNP),采用扫描电子显微镜(SEM)对制备材料的微观形貌进行了表征,并使用滴铸法制成了电阻式气体传感器,对其气敏性能进行了测试.实验结果表明,基于11-巯基-1-十一醇(MUD)功能化的AuNP化学电阻传感器的气敏性能最佳,在室温条件下,对1×10-6异丙醇(IPA)蒸气响应值可达5.0％,是未功能化AuNP化学电阻传感器响应值的4.7倍.MUD功能化的AuNP化学电阻传感器线性范围为1×10-6～1×10-5,相关系数R2 = 0.993,检出限(LOD)为7.6×10-7.同时,该传感器表现出优异的IPA选择性,且具有良好的恢复性和重复性.该传感器操作简单、成本低廉,在IPA气体检测方面有重要的应用价值.