溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的研究进展

• 作者: 纪建超 颜悦 哈恩华
• 来源期刊: 真空
• 关键词: AZO薄膜 溶胶-凝胶 光电特性
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Film
• 页码范围: 30-35
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.04.06

摘要

综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展,阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数,分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,指出了溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的优势与不足,展望了未来的研究方向.