射频磁控溅射对PET基材制备铝薄膜的性能影响

• 作者: 张健 牛夏斌 李建浩 齐振华
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 铝 高阻隔薄膜 射频磁控溅射 射频功率 溅射气压
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Film
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TB34|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.04.04

摘要

针对传统制铝技术,为提高膜层结合力、阻隔性,采用射频磁控溅射镀铝工艺,制备纯铝高阻隔性膜层,在PET塑料薄膜表面沉积纯铝的实验.通过对射频电源功率和溅射气压等参数的改变,探究射频功率、溅射气压对薄膜结合力、阻隔性的影响.结果表明:薄膜沉积过程中的射频功率和溅射气压对磁控镀铝薄膜性能影响较大,在一定的溅射压力下,膜层的结合力随射频功率的增大而逐渐增大,膜层的阻隔性随射频功率的增大,先提高后降低,射频功率为85W时,氧气透过率最小为1.11cm3/(m2·day·atm);在射频功率相同的情况下,结合力随着溅射气压的增大,先增大后降低,膜层的阻隔性随着溅射气压的增大而逐渐降低,溅射气压为0.5Pa时,结合力最高为1.68N/mm.较传统铝膜结合力提高2倍,阻隔性提高5倍.