一种高压模拟开关漏电失效解决方法

• 作者: 黄立朝 阎燕山 程绪林 张如州
• 来源期刊: 电子与封装
• 关键词: 高压开关 漏电失效 系统结构
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性|Microelectronics Fabrication & Reliability
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TN406
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0412

摘要

高压模拟开关在现代超声领域发挥关键作用.综合考量传输速度、导通电阻、通道隔离度等性能指标,利用红外热成像技术解决了电路漏电的失效问题.该技术包括红外热成像、漏电失效分析、漏电测试、器件原理分析及漏电解决方案等措施,提出了高压模拟开关器件漏电失效问题的通用解决方法,对高压模拟开关漏电失效问题的解决具有较高的参考价值.另外,该方法通过对器件内部工艺结构的分析,发现了器件漏电失效的本质因素,对后续器件工艺结构的改进具有一定的指导意义.