等离子体雾化用等离子体发生器动静态特性研究

• 作者: 杨彤 尹政鑫 邱吉尔 杨胜源 张清波 余德平
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 等离子体雾化 等离子体发生器 伏安特性 大尺度分流
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 66-71
• 页数: 6页
• 分类号: O533|TP271+3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.11

摘要

等离子体雾化法是当前球形金属粉末制备最具前景的方法之一,但由于其使用的关键等离子体发生器产生的射流不稳的问题,制约着金属粉末制备批次的稳定性.等离子体射流的不稳定性主要来源于电弧的大尺度分流,本文采用实验与信号分析的方法对电压信号进行时域、频域和时频分析来判断弧根的运动,揭示其动静态特性,以实现对等离子体发生器工作状态的实时监测.研究结果表明:反转电极等离子体发生器呈现上升型伏安特性,电压随电流的增大而增大,随着气流量的增大而升高;等离子体发生器在大电流情况下因产生了大尺度分流导致电压波动剧烈,大尺度分流造成的锯齿波状的信号为低频信号,频率在0.2到3Hz之间;采用短时傅里叶变换对电弧电压信号进行实时分析,可以准确地监测大尺度分流的产生,从而指导等离子体发生器工作参数的调整.