等离子体接触器放电振荡的频谱分析研究

• 作者: 冯杰 成荣 赵勇 王彦龙 王尚民 张宏 贾艳辉
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 等离子体接触器 放电振荡 频谱分析 FFT
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|O484|TP271+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.12

摘要

为了验证接触器工作时发生振荡的主要区域,设计试验寻找接触器进入羽流工况的阈值条件,确认当"供气工质流量—放电电流"的比值超过10sccm/A时,接触器将会进入到羽流工作模式.在该区域中接触器将会发生较为剧烈的振荡,放电电压峰-峰值一般超过5V.经频谱分析(FFT),导致该放电不稳定性的原因是需要用较少供气工质产生较多放电电流时的电离不稳定性,这种不稳定性对应的频率分量约在1MHz左右,采用增加供气流量或者降低放电电流的方法可以有效地抑制该种振荡的发生.