真空涂层设备SIS设计及应用

• 作者: 游锦山
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 真空涂层设备 安全回路 SIS SIL
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TB753+.9|TB43|TP311
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.14

摘要

研究了真空涂层设备控制系统和工艺安全要求的特性,提出以IEC 62061标准完成设备的SIL评估、SIS设计和SIL验证,完成了整套SIS的集成和应用研发,并实现了SIS与总控系统的信息交互和联锁保护,研发的SIS已经使用到多套真空涂层设备之中,有效地保护了人身和财产安全.