基于S7-1200和WinCC的坩埚冷却水循环监控系统

• 作者: 成成 王洪强 李阳 张华标
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 冷却 水泵 PLC Wincc
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TB77|TN431.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.15

摘要

本文介绍了一种坩埚冷却供水闭式循环监控系统,以西门子S7-1200系列PLC作为控制核心,WinCC 7.3组态软件作为人机界面,目的是为坩埚冷却供水闭式循环系统提供一种安全可靠的监控系统.该系统包括水泵、流量计、压力表、温度计、电磁阀门、压力变送器等,实时监测和控制整个坩埚冷却供水闭式循环系统.该系统已在线稳定运行多年,控制系统安全稳定,人机界面清晰、交互性好、抗干扰能力强,满足线上运行需求.