Cu-Nb合金薄膜的微观结构与辐照损伤

• 作者: 于开元 李彦 孙祎帆 张干 张展碹
• 来源期刊: 稀有金属
• 关键词: Cu-Nb合金 薄膜 辐照损伤 非晶
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 372-377
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.1+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY20110004

摘要

采用真空磁控溅射共溅法制备了CuxNb100-x(x=15,25,35,50,65,75,85,％,原子分数)7种成分的合金薄膜,采用氦(He)离子注入手段对合金薄膜进行室温辐照改性,利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和纳米压痕仪研究了辐照前后合金薄膜的微观形貌、相组成与力学特性.结果 显示:当Cu含量≤25％或≥75％时,合金薄膜由单一晶体相构成,晶粒形貌为等轴晶,尺寸约为100nm,前者品界处有Cu富集,后者晶界处有Nb富集;经He离子辐照后,He泡均匀分布于晶粒内,未见明显偏聚;辐照后样品的纳米压痕硬度显著高于未辐照样品,呈现辐照硬化.当Cu含量为35％～65％时,合金薄膜由晶体与非品双相构成,其中晶体相为颗粒状,尺寸为10～20 nm,均匀分布于非晶基体中;经He离子辐照后,He泡主要分布于晶体/非晶界面处,晶体或非晶相内部的He泡难以分辨;辐照后样品的纳米压痕硬度低于未辐照样品,呈现辐照软化.