大气压微波氩等离子体分子离子特性数值研究

• 作者: 谢芹 申庆浩 鄢雪晴
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体 大气压 分子离子 电子密度
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术专辑
• 页码范围: 29-33,73
• 页数: 6页
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.06.05

摘要

运用有限元法在大气压下建立耦合麦克斯韦方程的自洽三维流体等离子体模型,通过是否考虑分子离子发现二者电子密度的时空变化特征存在巨大差异,彰显了大气压条件下分子离子的重要性.另外,根据分子离子相关四条反应通道速率变化的特征可知:电子碰撞解离反应通道对分子离子的消耗有重要影响,而原子碰撞解离反应通道对模型影响较小,可忽略不计,节约运算单元.本文旨在揭示大气压条件下分子离子的重要性,进一步完善模型,为大气压微波等离子体的工业化应用奠定良好的理论基础.