基于ZnO多层结构的声表面波高频器件分析设计

• 作者: 郭欣榕 谭秋林 李博
• 来源期刊: 电视技术
• 关键词: 声表面波 有限元仿真 ZnO压电薄膜 金刚石
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 器件与设计|PARTS & DESIGN
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.16280/j.videoe.2021.05.033

摘要

通过有限元仿真,分析基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波传播特性,包括机电耦合系数、声表面波波速以及温度敏感系数等,同时分析电极厚度对机电耦合系数的影响机理,为适用于不同场合的高频器件的优化设计提供思路,对基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波器件的设计具有指导意义.