基于磁控溅射的石英谐振器升频微调技术

• 作者: 杨秀涛 张骏淋 周彪 王文武 曾广根
• 来源期刊: 压电与声光
• 关键词: 电极 磁控溅射 升频微调 石英晶体谐振器
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 页码范围: 248-253
• 页数: 6页
• 分类号: TN384|TM22
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2021.02.022

摘要

石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件.通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率.受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一次性得到目标频率,特别是对于批量生产的石英谐振器,要获得一致性很好的频率更难,因此,后期的频率微调很重要.频率微调法包括物理法和化学法,一般通过改变石英晶片或电极的质量来实现升频或降频.该文首先综述了激光刻蚀和离子束刻蚀物理法升频技术,然后结合相关技术的发展,在论证可行性的基础上,创新性地提出使用磁控溅射技术进行升频微调,并建立了理论模型.