含氮量与微波频率对微波等离子体活性粒子的影响

• 作者: 余洁 陈久元 吴丽
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 含氮量 微波频率 等离子体活性粒子
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术专辑
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.06.06

摘要

利用前期自主设计的基于同轴结构的微波大气压等离子体源研究了含氮量和微波频率对等离子体性质,特别是对活性粒子种类及其浓度的影响.实验系统所用的工作气体(氩气)总流量为15 L/min,其含氮量分别设为0、0.3、0.4、0.6、0.8 L/min,微波驱动频率为2450和5800 MHz.光谱测量发现,这些条件下激发所得等离子体的活性粒子主要有NO-γ、OH、N2第二正带系以及O.频率为2450 MHz时,含氮量增加,NO-γ、OH以及O光谱强度呈单调下降趋势,N2第二正带系先增加后降低,系统的能量利用率下降;频率为5800 MHz时,含氮量增加,N2第二正带系、NO-γ、OH以及O光谱强度急剧下降,但是N2含量并不会对其浓度产生较大影响.值得注意的是,5800 MHz下的等离子体具有更高的活性粒子浓度.