GaN基LED芯片的光效提升研究

• 作者: 崔悦 许英朝 刘春辉 林苗茜 李洋洋 陈浩
• 来源期刊: 激光杂志
• 关键词: LED芯片 ITO tracepro 微孔结构
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TN383
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2021.04.031

摘要

GaN基LED芯片具有制备工艺简单、低成本、良率高等优点,提高LED芯片的出光效率已成为国内外专家的研究重点.采用tracepro软件,并基于蒙特卡洛法对ITO表面具有微孔结构的LED芯片的光萃取效率进行模拟仿真,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片的光萃取效率有明显的提升.通过光刻技术和湿法蚀刻技术制备ITO厚度为30 nm的LED芯片,在ITO层制作周期微结构.通过光电性检测,在通入20 mA电流时,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片样品的输出光功率分别提高3.9％、6.76％和4.66％,并在此基础上优化了的电极结构,使电流密度分布均匀得到有效提升.