利用飞秒激光直写技术制备钙钛矿微盘激光器

• 作者: 田晓语 曹强
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 飞秒激光直写 双源共蒸 钙钛矿 微盘激光器 石英玻璃衬底
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备|Processing, Measurement and Equipment
• 页码范围: 163-169
• 页数: 7页
• 分类号: TN365
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.02.011

摘要

利用溶液法制备的钙钛矿微/纳米晶虽然可以得到性能良好的微型激光器,但是其所需生长周期较长且缺乏重复性.为了解决这一问题,提出了利用飞秒激光直写技术制备高重复性钙钛矿微盘激光器的新方法.首先使用双源共蒸的方法在石英玻璃衬底上沉积FAPbI3钙钛矿薄膜,然后采用飞秒激光直写技术在FAPbI3钙钛矿薄膜上制备不同直径的微盘激光器,最后测试其激光性能.实验结果表明,随着微盘直径的增加,激光阈值呈线性增长,最终可实现约4.7 μJ/cm2的极低激光阈值.利用飞秒激光直写技术制备的钙钛矿微盘激光器具有出色的激光性能,且重复性高,因此该技术非常适用于批量制备钙钛矿微盘激光器,为其产业化应用提供了可能.