声表面波扭矩传感器的原理及应用综述

• 作者: 李志鹏 孟旭 张超 王博男
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 声表面波 扭矩传感器 工作原理 应用
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与评论|Survey & Review
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)03-0005-03

摘要

阐述了声表面波(SAW)及其器件的分析理论、模型、工作模式;论述了声表面波扭矩传感器的工作原理;结合目前声表面波扭矩传感器的应用情况,论述了声表面波扭矩传感器在航空发动机、种植义齿稳定性检测、载运工具领域中的应用;分析了制约声表面波扭矩传感器发展所存在的问题并提出了改进方向.