高传输损耗和器件尺寸是限制光通信系统性能的关键问题,为此以光束传播法(B P M)设计仿真、利用飞秒超快加工技术制备了基于多模干涉耦合器(MMI)的聚合物1×16光功分器,器件尺寸小于22000 m.仿真结果表明平均插入损耗小于23dB,均匀性1.27dB.测试在1550nm波段,1×16光功分器平均插入损耗小于23dB,均匀性1.48dB.基于SU8胶材料仿真了用于光电电路板垂直耦合的光波导结构,利用时域有限差分法(FDTD)分析空间位置偏差对光纤与45°微反射镜的耦合效率影响,得到最佳耦合位置和最大耦合效率86.1%.结果表明器件具有易制备,较低的制备容差敏感度和结构紧凑的优点,符合光电集成和批量生产要求,对光分路器的设计和生产工艺有一定的参考价值.