CdS紫外探测器芯片的制备研究

• 作者: 何雯瑾 信思树 钟科 柴圆媛 黎秉哲 杨文运 太云见 袁俊
• 来源期刊: 红外技术
• 关键词: Pt/CdS 肖特基 紫外探测器 I-V特性
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件|MATERIALS & DEVICES
• 页码范围: 773-776
• 页数: 4页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文

摘要

针对紫外探测器在紫外-红外双色探测器中的工程化应用需求,开展了Pt/CdS肖特基紫外探测器研究,通过对CdS晶片表面处理工艺、Pt电极制备及紫外芯片退火等关键技术进行优化研究,并对Pt/CdS肖特基紫外探测器性能进行测试分析.测试结果表明:Pt/CdS肖特基紫外探测器在0.3～0.5μm下响应率大于0.2 A/W,对3～5μm红外波长的平均透过率大于80％,很好地满足了紫外-红外双色探测器中的工程化应用要求.