退火温度对冷轧气相沉积高纯钨再结晶行为的影响

• 作者: 檀校 郝玉朋 于晓东 王玉天 谭成文 胡劲
• 来源期刊: 金属热处理
• 关键词: 化学气相沉积 冷轧钨 再结晶 韧脆转变温度
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺研究|PROCESS RESEARCH
• 页码范围: 33-38
• 页数: 6页
• 分类号: TG166.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2021.03.007

摘要

通过不同温度的退火试验研究了化学气相沉积高纯钨冷轧后的再结晶行为.结果表明,冷轧钨中形成层状异质结构,提高了材料的应变硬化率,进而提高了塑性,韧脆转变温度降低到200℃以下,硬度从沉积态的402 HV0.2提高到547 HV0.2.高温退火后,冷轧钨在1100℃发生再结晶,与沉积态钨相比,再结晶温度降低了880℃,这是由于低温塑性变形导致材料储存能升高,再结晶驱动力提高,再结晶温度降低.随着退火温度的升高,由于晶粒尺寸的增大,层状异质结构逐渐消失,硬度迅速降低到完全再结晶态的370 HV0.2,而屈服强度从冷轧态的1224 MPa逐渐降低到1800℃退火后的558 MPa,但韧脆转变温度仍保持在200℃以下.