半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析

• 作者: 职远 张丁超 刘俊杰 夏群艳
• 来源期刊: 暖通空调
• 关键词: 洁净室 在线监测 污染源分析 气态化学污染物 化学过滤器
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 学术探讨|ACADEMIC FORUM
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果.并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息.测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50％,无法满足规范中70％的要求.而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料.