白光干涉测量控制系统的集成化设计

• 作者: 周勇 蔡潇雨 魏佳斯
• 来源期刊: 半导体技术
• 关键词: 白光干涉法 控制系统 集成化设计 STM32处理器 微纳测量
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备|Semiconductor Testing and Equipment
• 页码范围: 739-743
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.09.013

摘要

微纳技术的发展带动了微纳米检测计量仪器的发展,微纳米测量仪器的智能化、集成化和小型化是仪器研发中的共性问题.在白光干涉测量系统中,设计了基于STM32处理器的控制系统,该系统将原本分立的光源控制、相机控制和样品台控制等控制模块集成构建于一台控制器.针对白光干涉测量系统的控制需求设计开发了驱动电路、通信电路、光源控制电路和相机触发电路等.设计优化了信号同步、光源控制策略,从而提高了扫描同步性和测量稳定性.控制系统的集成化设计有效提高了光学三维轮廓仪的小型化和集成性,降低了仪器的制造和维护成本.