V型MEMS电热执行器技术研究

• 作者: 保慧琴 卫霞 李茹
• 来源期刊: 电子测量技术
• 关键词: 电热执行器 温度分布 位移 响应时间
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计|Research and Design
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 分类号: TN37
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2005541

摘要

V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中.利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值,并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证,结果表明理论分析值和仿真结果保持一致.对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究,搭建测试平台对执行器的性能进行测试,14 V电压下可以在4 ms内达到稳定的工作状态.