MEMS陀螺仪的研究现状与进展

• 作者: 李永 赵正平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: MEMS陀螺仪 传感器 角度陀螺仪 速率陀螺仪 惯性测量单元(IMU)
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 技术论坛|Technology Forum
• 页码范围: 757-768
• 页数: 12页
• 分类号: V241.5|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.09.001

摘要

MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件.当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段.从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新进展.对MEMS陀螺仪分别按简并和非简并工作模式;速率陀螺仪的机械化和全角机械化;体Si、表面工艺、3D结构、封装和修调工艺等;高性能集成、高精度校准、数据融合新算法和各类导航应用等详细分类与内容进行介绍.在提取MEMS陀螺仪在微结构等四个方面的技术创新点的基础上,进一步分析了MEMS陀螺仪的发展趋势和未来发展重点.