大面积金属网板模具的制造

• 作者: 杜立群 肖海涛 张希 温义奎 于洋 关发龙 钟波
• 来源期刊: 模具制造
• 关键词: 金属网板 UV-LIGA 兆声辅助 残余应力 微电铸
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 模具制造技术|Die & Mold Manufacture
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TG659
• 语种: 中文
• DOI: 10.12147/j.cnki.1671-3508.2021.04.019

摘要

利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm、深宽比为6、开孔率高达93％的金属镍网板模具.该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点.在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法.去胶释放后微细网板结构未出现翘曲变形、分层等问题,满足使用要求.本文研究表明:兆声辅助微电铸方法是制造大面积、大厚度、低应力金属微器件的一种有效方法.