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N/Ti原子比对TiN膜微结构及性能的影响综合分析
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摘要：
TiN硬质膜是很多现有的多组元氮化物硬质膜的基础.N/Ti原子比对TiN硬质膜具有重要影响.结合TiN硬质膜的制备工艺方法,分析了膜层中N含量变化的影响因素及控制方法,详细讨论了N/Ti原子比对TiN膜相组成、硬度、耐摩擦磨损性能、光电性能的影响关系.
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主办单位：
武汉材料保护研究所
中国腐蚀与防护学会
中国表面工程协会
出版周期：
月刊
ISSN：
1001-1560
CN：
42-1215/TB
开本：
大16开
出版地：
湖北省武汉宝丰二路126号
邮发代号：
38-30
创刊时间：
1960
语种：
chi
出版文献量（篇）
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