迫流冷却式低温吸附泵抽气性能测试系统设计

• 作者: 张进新 鲁祥友 谢远来 胡纯栋 郎嘉琪
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: 低温吸附泵 Molflow 性能测试系统 流量计法抽速测试罩
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 低温/制冷技术|Cryogenics/Refrigeration
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TB7
• 语种: 中文
• DOI: 10.16711/j.1001-7100.2021.08.009

摘要

为检验中国聚变工程实验堆负离子源中性束注入系统样机低温吸附泵的抽气性能,结合流量计法抽速测试罩设计了一套抽气性能测试系统.通过Molflow软件对不同进气量下抽速测试罩内的压力变化进行了分析,结果表明低温吸附泵对被抽气体抽速稳定且与理论抽速相比误差为3.8％,误差在允许范围之内,从而验证了该抽气性能测试系统的合理性.