柔性液晶微透镜阵列的制备与性能研究

• 作者: 刘鹏辉 李诗尧 王文雯 翁徐阳 吴朝兴 周雄图 张永爱
• 来源期刊: 光子学报
• 关键词: 液晶 柔性微透镜 可控焦距 弯曲 光学性能
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 光学器件|Optical Devices
• 页码范围: 78-85
• 页数: 8页
• 分类号: TN41.9|TN27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20215003.0323001

摘要

针对集成成像视场角狭小的问题,设计并制备了一种柔性圆孔驱动电极控制液晶分子偏转的可弯曲和焦距可调的柔性液晶微透镜阵列.利用光刻技术在柔性ITO基板表面刻蚀并形成规则的圆孔阵列电极,旋涂工艺制备柔性聚酰亚胺(PI)膜层,PI膜层经60℃加热5 min后,再利用等离子体在功率630 W条件下处理5 min固化成PI取向层.利用液晶盒成盒工艺将上、下基板组装成液晶透镜,研究未弯曲和弯曲曲率半径7.5 cm条件下液晶微透镜阵列的光学性能.实验结果表明,所制备的液晶透镜在未弯曲和曲率半径为7.5 cm的情况下均可实现聚焦功能,且液晶微透镜阵列的干涉圆环均匀,聚焦光斑小.在驱动电压3～5.3 Vrms下,弯曲曲率半径为7.5 cm的液晶微透镜阵列焦距可调的范围为0.43～1.05 mm.