微系统技术发展现状及趋势

• 作者: 朱晓枭 周瑜 刘云飞 冯杰
• 来源期刊: 电声技术
• 关键词: 微电子信息系统 MEMS 集成技术
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 器件与应用|Parts and Applications
• 页码范围: 21-29
• 页数: 9页
• 分类号: TN409
• 语种: 中文
• DOI: 10.16311/j.audioe.2021.07.006

摘要

微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景.基于此,系统性地阐述微系统的概念,总结微系统技术的发展现状及其趋势,并梳理微系统技术的应用领域和方向.