Loadport控制系统设计

• 作者: 褚明杰
• 来源期刊: 智能建筑与工程机械
• 关键词: Loadport 控制系统 晶圆 Foup
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 工程机械与智控
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文

摘要

在半导体生产过程中,晶圆需要经常在洁净与超洁净环境间转换,转换过程中为保证晶圆不受微粒子附着,需要使用Loadport(晶圆装载端口)作为环境转换的输入输出端口.目前在Fab厂中Loadport已得到非常广泛的应用,但其仍需依赖进口.拥有Loadport相关技术的国家仍对我国进行技术限制,所以Loadport关键技术的研发就显得尤为重要.本文设计并实现了一种Loadport控制系统可以满足实际半导体产线应用需求.