热轧变形量对半导体用NiCr溅射靶组织和磁性能的影响

• 作者: 郭美丽
• 来源期刊: 锻压技术
• 关键词: NiCr溅射靶 热轧变形量 位错 微观组织 磁性能
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 特种成形|SPECIAL FORMING
• 页码范围: 162-166
• 页数: 5页
• 分类号: TG335
• 语种: 中文
• DOI: 10.13330/j.issn.1000-3940.2021.03.027

摘要

分析了半导体用NiCr溅射靶受到热轧作用后发生的组织与磁性能的变化,研究了不同的NiCr合金显微组织结构对其磁性产生的影响及两者间的相互作用.研究结果表明:在NiCr合金中存在大量FCC晶单相镍基固溶体,逐渐增大热轧变形量后,其形成了宽度更大的衍射峰.当热轧变形量提高后,(100)晶面发生了择优取向,取向度先增大、再降低,其余晶面保持取向度基本不变.在热轧前,NiCr合金基体内未形成位错,对各热轧组织进行BSE表征测试,均表明NiCr合金中形成了更细小的晶粒.在磁滞回线中心区域,经过热轧处理后,形成了更多的磁滞回线封闭区,矫顽力与剩余磁感应强度显著增强.热轧阶段形成了恒定的饱和磁感应强度,提高热轧变形程度后,合金获得了更大的矫顽力.