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Al掺杂浓度对Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜铁电性能的影响
Al掺杂浓度对Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜铁电性能的影响
作者:
邱宇
朱俊
周云霞
李康
张钰
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
脉冲激光沉积(PLD)
Al
掺杂铪锆氧薄膜
铁电
反铁电
相变
摘要:
采用脉冲激光沉积法(Pulsed laser deposition,PLD)在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备TiN/Al掺杂Hf0.5 Zr0.5 O2/TiN的MIM(金属-绝缘体-金属)结构薄膜电容器.对Al掺杂浓度为0% ~4%(摩尔分数)的Al:Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜的微观结构以及电学性能进行了研究,在此基础上,还研究了退火温度对Al:Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜的影响.测试结果表明,随着Al掺杂浓度的增大和退火温度的降低,四方相更加稳定,电滞回线更加细窄,剩余极化强度减小.退火温度为500℃时,掺杂浓度为1.03%(摩尔分数)的Al:Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜中将诱导出类似反铁电薄膜具有的双电滞回线特性,储能密度更高.分析结果表明,这些变化均是由于Al:Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜内四方相与正交相之间发生的场致可逆相变以及氧空位的再分布.
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篇名
Al掺杂浓度对Hf0.5 Zr0.5 O2薄膜铁电性能的影响
来源期刊
材料导报
学科
工学
关键词
脉冲激光沉积(PLD)
Al
掺杂铪锆氧薄膜
铁电
反铁电
相变
年,卷(期)
2021,(2)
所属期刊栏目
无机非金属及其复合材料
研究方向
页码范围
1-5
页数
5页
分类号
TN304
字数
语种
中文
DOI
10.11896/cldb.20020160
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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掺杂铪锆氧薄膜
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研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料导报
主办单位:
重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
出版周期:
半月刊
ISSN:
1005-023X
CN:
50-1078/TB
开本:
大16开
出版地:
重庆市渝北区洪湖西路18号
邮发代号:
78-93
创刊时间:
1987
语种:
chi
出版文献量(篇)
16557
总下载数(次)
86
总被引数(次)
145687
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