电涡流速度传感器小型化研究

• 作者: 郑良广 罗茹丹 刘莉娜 吕阳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 电涡流传感器 速度测量 小型化 有限元仿真
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨|Research & Approach
• 页码范围: 22-24,29
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.13
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0022-03

摘要

非接触测量在高速测量领域占有很大比重,当测量环境比较恶劣时,电涡流式传感器几乎是唯一选择.受测量原理的限制,电涡流式传感器的量程与其体积成正比,在一些安装空间比较受限的地方,传感器小型化研究十分必要.针对电涡流式速度传感器,对其敏感线圈进行建模仿真,设计了单探头双线圈结构,从探头尺寸角度减小传感器体积,同时差分检测手段减弱线圈固有温漂特性,传感器输出稳定性得到增强.