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不同B/C摩尔比碳化硼薄膜的光学性能
不同B/C摩尔比碳化硼薄膜的光学性能
作者:
郦其乐
杨勇
魏玉全
刘盟
周洪军
霍同林
黄政仁
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
碳化硼
磁控溅射
反射
电子密度
光学常数
摘要:
多层膜反射镜是X射线波段和极紫外波段的重要光学部件.碳化硼作为常见的反射膜材料,其薄膜成分及光学常数计算的准确性对反射镜的反射性能具有明显影响.本研究使用直流磁控溅射技术制备碳化硼薄膜,利用X射线光电子能谱(XPS)、X射线全反射(XRR)、原子力显微镜(AFM)和同步辐射光源等对试样进行了表征,利用改进的拟合函数拟合了基底和薄膜的反射率曲线.结果表明,非晶碳化硼薄膜的元素化学状态相同,其基本成分包含碳化硼和含氧碳化硼;在5~45 nm波段,薄膜B/C摩尔比为4.23时,反射性能最好,同时其基底与薄膜的电子密度差值最大,试样反射性能变化与试样电子密度差值变化基本一致;与原始拟合函数相比,改进的拟合函数提高了薄膜光学常数计算的准确性.
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内容分析
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相关文献总数
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文献信息
篇名
不同B/C摩尔比碳化硼薄膜的光学性能
来源期刊
材料导报
学科
物理学
关键词
碳化硼
磁控溅射
反射
电子密度
光学常数
年,卷(期)
2021,(2)
所属期刊栏目
无机非金属及其复合材料
研究方向
页码范围
6-11
页数
6页
分类号
O484
字数
语种
中文
DOI
10.11896/cldb.20040077
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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研究主题发展历程
节点文献
碳化硼
磁控溅射
反射
电子密度
光学常数
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料导报
主办单位:
重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
出版周期:
半月刊
ISSN:
1005-023X
CN:
50-1078/TB
开本:
大16开
出版地:
重庆市渝北区洪湖西路18号
邮发代号:
78-93
创刊时间:
1987
语种:
chi
出版文献量(篇)
16557
总下载数(次)
86
总被引数(次)
145687
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