MEMS振动传感器信号检测电路设计与实现

• 作者: 陈伟琪 肖定邦 蒲金飞 李凯 毛善国
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微机电系统(MEMS)振动传感器 检测电路 补偿电路 测试
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TN305|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000—9787(2021)07—0063—04

摘要

分析了电容检测电路原理,优化设计了C/V模块电路、接口电路和零偏及标度因数补偿电路,并搭建电路以及联合微机械差分电容结构进行了集成测试.经过测试验证,设计的微机电系统(MEMS)振动传感器信号检测电路对微弱电容具有较好的检测放大作用,并具有较强的接口适应性和防护能力.