"星"型射频MEMS四刀四掷开关的设计

• 作者: 张世义 王姗姗 吴倩楠 余建刚 王宇 李孟委
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 射频微机电系统 四刀四掷开关 低插损 可调 多通道
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TN385|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000—9787(2021)07—0074—04

摘要

为了解决传统开关可控通道较少、尺寸较大、插入损耗较高等问题,以射频微机电系统(MEMS)单刀单掷开关为基础,设计了"星"型的射频MEMS四刀四掷开关,可控制多通道信号导通与断开.采用HFSS仿真软件,对设计的器件的插入损耗、隔离度及驻波比等关键参数进行优化.结果表明:当工作频段为DC～26.5 GHz时,射频MEMS四刀四掷开关插损优于1.19 dB@26.5 GHz,隔离度优于31.75 dB@26.5 GHz,驻波比小于1.7,整体尺寸为1.2 mm×2.174 mm×0.51 mm.本文设计的四刀四掷开关具有低插损、小体积、多通道可调等的优点,可与功分器、移相器、延时器、天线等单片集成,用于通信、雷达、导航及微波测试仪器等系统中,实现多通道信号分配、移相、延时及可重构的功能.