微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统设计及开发

• 作者: 李玉梅 李刚炎 辜志强 岳思齐
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 微型晶体谐振器 出料门系统 运动同步性
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 112-115
• 页数: 4页
• 分类号: TD774
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2021.04.022

摘要

为了满足微型晶体谐振器高性能封装需求,综合应用机-电-气一体化设计理念,研发一套微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统.以密封性好、可靠性高为目标,提出了由Z轴按压机构、Y轴提升机构和防掉落保护机构组成的系统结构技术方案;以冲击性小、能耗低为目标,对气动回路进行详细设计,并在回路数学模型、仿真分析基础上,确定气动回路的关键参数;针对系统运动不同步现象,对其运动同步性进行仿真分析,验证气动回路设计合理性.最后样机试验表明系统运行稳定,完全满足系统预期功能需求及关键性能指标.